手动高低温探针台

高低温探针台：半导体测试的核心装备

在半导体器件和晶圆的生产线上，高低温探针台扮演着至关重要的角色。这款设备能够在宽温范围内进行电性能测试，是确保产品性能和质量的关键一环。以下是关于高低温探针台的主流产品、技术特性、功能特点、应用领域及市场状况的详细解读。

一、主流产品与技术参数一览

1. 季丰电子低高温手动探针台：

温度范围：-100℃至常温（液氮模式）或-70℃至常温（低温洁净干燥空气模式）。

变温速度：从常温至300℃仅需<30分钟，从常温至-70℃仅需<40分钟。

特点：密封腔体设计，减少气体消耗，并特别支持晶圆可靠性测试（WLR）和失效分析（FA）。

2. 郑州科探KT-Z4019MRL4T手动探针台：

可达-100℃的低温，配备分子泵真空系统，达到10Pa的压力。

配备隔振器，减少泵组振动，适用于高精度实验室测试环境。

3. 森东宝超低温真空探针台：

温度范围覆盖从-70℃至常温。支持IV/CV测试及光电实验。

优势在于快速冷却/升温，并可根据需求适配垂直磁场测量等特殊功能。

4. MPI TS300-SE手动探针台：

温度范围：-60℃至300℃，集成EMI/RFI屏蔽环境。

适合进行飞安级低漏电测量，以及射频/毫米波测试。

二、功能特点大

这些先进的高低温探针台具备多种功能特性，包括但不限于支持I-V/C-V测试、射频S参数测试、高压测试（最高可达10kV）以及ESD测试等。部分高端型号采用气浮载物台（Air-Bearing Stage）设计，实现快速移动，同时显微镜气动升降设计极大提升了观测效率。这些探针台还具备良好的扩展性，可搭配多种分子泵、光学配件和探针夹具等，满足各种定制化测试需求。

三、应用领域广泛

高低温探针台在多个领域都有广泛的应用。例如，在可靠性测试中，它们被用于晶圆级可靠性验证和老化测试；在失效分析中，它们能够帮助定位器件失效原因并进行光电参数分析；它们还广泛应用于射频/高压测试，如毫米波器件特性表征和高压大电流参数测量等。

四、国产厂商与市场状况

随着技术的发展和国产化替代趋势的加强，国内厂商如季丰电子、郑州科探等已经实现了常温至极端温度探针台的批量装机，产品覆盖高校、晶圆厂及第三方实验室等多个领域。虽然一些高端市场仍被国外品牌如日本阿波罗α300CS等占据，但国产设备在性价比和定制化服务方面具备显著优势。

高低温探针台是半导体测试领域不可或缺的关键设备。用户在选择时，可以根据具体的测试需求如温度范围、真空度、测试类型等，选择最适合的型号。